低溫滅菌方法是利用化學滅菌劑殺滅病原微生物的方法。化學藥劑進行滅菌處理時所需溫度較低，通常稱為低溫滅菌方法或化學滅菌方法。低溫滅菌使用的化學消毒劑能夠殺滅所有微生物，達到滅菌保證水平，這類具有滅菌作用的化學藥劑有甲醛、戊二醛、環氧乙烷、過氧乙酸等。化學滅菌用于不能耐受高溫、濕熱材質類的器械的滅菌。